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发布时间:2022-09-08 01:58:00 作者:迈基尔
场发射扫描电镜(FESEM)
场发射扫描电镜(FESEM)是电子显微镜的一种,其原理是利用二次电子或背散射电子成像,对样品表面放大一定的倍数进行形貌观察,同时利用电子激发出样品表面的特征X射线来对微区的成分进行定性定量分析,是我们材料研究分析中一双亮丽的“眼睛”。
扫描电镜按照电子分类可以分为钨(W)灯丝、六硼化镧(LaB6)灯丝、场发射 (Field Emission)三种,场发射扫描电镜相比于钨灯丝、六硼化镧,具有电子束斑小、高分辨率、稳定性好等特点。
电子光学系统包括电子、电磁透镜、扫描线圈、样品室等
电子光学系统包括电子、电磁透镜、扫描线圈、样品室等,主要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成象。电磁透镜:热发射电子需要电磁透镜来成束,所以在用热发射电子的扫描电镜上,电磁透镜。通常会装配两组:汇聚透镜和物镜,汇聚透镜仅仅用于汇聚电子束,与成象会焦无关;物镜负责将电子束的焦点汇聚到样品表面。
扫描线圈的作用是使电子束偏转,并在样品表面作有规则的扫动,电子束在样品上的扫描动作和显像管上的扫描动作保持严格同步,因为它们是由同一扫描发生器控制的。
镀导电膜的选择,在放大倍率低于1000倍时
镀导电膜的选择,在放大倍率低于1000倍时,可以镀一层较厚的Au,以提高导电度。放大倍率低于10000倍时,可以镀一层Au来增加导电度。放大倍率低于100000倍时,可以镀一层Pt或Au-Pd合金,在超过100000时,以镀一层超薄的Pt或Cr膜较佳。 电子束与样品作用,当内层电子被击出后,外层电子掉入原子内层电子轨道而放出X,不同原子序,不同能阶电子所产生的X各不相同,称为特征X,分析特征X,可分析样品元素成份。
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