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电子束以栅网模式扫描样品

在SEM中，电子束以栅网模式扫描样品。首先，电子在镜筒顶部生成电子。当电子的热能超过了源材料的功函数时，就会被释放出来，然后它们加速向带有正电荷的阳极高速移动。整个电子镜筒必须处于真空状态。

像电子显微镜的所有组件一样，电子也被密封在特殊的真空室中以保护它不受污染、振动和噪音的影响。除了保护电子不受污染，真空环境有利于得到高分辨率图像。

若非真空环境，镜筒中可能存在其他原子和分子，它们与电子相互作用，使电子束发生偏转，从而降低图像质量。高真空环境也提高了镜筒内检测器对电子的收集效率。

当后向散射电子作为调制信号时,由于其能量高、穿透性强,可以从

当后向散射电子作为调制信号时,由于其能量高、穿透性强,可以从样品较深的区域逃逸(约为有效效应的30%深度).在深度范围内,入射电子横向扩展,因此背散射电子像的分辨率比二次电子像的分辨率低,一般在500-2000nm左右.如果将吸收电子、x射线、阴极发光、束流诱导电导或电位作为调制信号的其他工作模式,由于信号来自整个电子束散射区,因此获得的扫描图像的分辨率相对较低,一般在1000纳米或10000纳米以上之间.

场发射放大倍率由25倍到65000倍,在使用加速电压15kV

场发射放大倍率由25倍到650000倍，在使用加速电压15kV时，分辨率可达到1nm，加速电压1kV时，分辨率可达到2.2nm。一般钨丝型的扫描式电子显微镜仪器上的放大倍率可到200000倍，实际操作时，大部份均在20000倍时影像便不清楚了，但如果样品的表面形貌及导电度合适，大倍率 650000倍是可以达成的。

由于对真空的要求较高，有些仪器在电子及磁透镜部份配备了3组离子泵(ion pump)，在样品室中，配置了2组扩散泵(diffusion pump)，在机体外，以1组机械泵负责粗抽，所以有6组大小不同的真空泵来达成超高真空的要求，另外在样品另有以液态氮冷却的冷阱(cold trap)，协助保持样品室的真空度。

Ti-6Al

Ti-6Al-4V 合金经过热处理以改变其微观结构中 α 和 β 相的数量，微观结构将根据确切的热处理和加工方法而显著变化（三种常见的热处理工艺是轧机退火、双相退火和固溶处理和时效）。借助飞纳台式扫描电镜的 EDS-mapping 功能，可以获得各相中元素含量、分布状态，通过不同相中相稳定元素含量的差异（α 相中常固溶 Al、Sn，β 相中常固溶 V、Cr 等）及 BSE 图片的衬度差异能够分析 α 相和 β 相的微观结构。